ICS 25.100.99 CCS ZACA J 41 团体标 准 T/ZACA 047—2022 电镀金刚石线锯 Electroplated diamond wire saw 2022 - 07 - 12发布 2022 - 07 - 15实施 浙江省质量合格评定协会 发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/ZACA 047 —2022 I 目次 前言 ................................................................................. II 1 范围 ............................................................................... 1 2 规范性引用文件 ..................................................................... 1 3 术语和定义 ......................................................................... 1 4 产品规格 ........................................................................... 1 5 一般要求 ........................................................................... 2 6 技术要求 ........................................................................... 2 7 试验方法 ........................................................................... 3 8 检验规则 ........................................................................... 5 9 标志、包装、运输和贮存 ............................................................. 6 全国团体标准信息平台 T/ZACA 047 —2022 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本文件由浙江省质量合格评定协会提出并归口。 本文件主要起草单位：浙江新瑞欣科技股份有限公司。 本文件参与起草单位： 浙江省质量合格评定协会、 福建工程学院、 盛荣新材料科技（嘉兴）有限公 司、杭州科派知识产权管理有限公司、杭州新林达自动化科技有限公司 。 本文件主要起草人： 陈吉兵、陈康、王国宇、 史少礼、 庞杰、章葛华、季昆 、吴昊、黄春明、张成 斌、潘蝶。 本文件首次发布。 全国团体标准信息平台 T/ZACA 047 —2022 1 电镀金刚石线锯 1 范围 本文件规定了电镀金刚石线锯（以下简称金刚石线锯）的术语和定义、产品规格、一般要求、 技术 要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于标称直径35 μm、38μm的硅片用电镀金刚石线锯。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 341 钢丝分类及术语 GB/T 6405 超硬磨料 立方氮化 硼品种 GB/T 23847 电镀用氨基磺酸镍 GB/T 33159 钢帘线试验方法 IEC 62321 电工产品中限用物质的测定 ROHS (EU)2015/863 指令 欧盟《电气、电子设备中限制使用某些有害物质指令》 REACH(EC)1907/2006 法规 欧盟《化学品的注册、评估、授权和限制》 3 术语和定义 GB/T 6405 、GB/T 341界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 电镀金刚石线锯 electroplated diamond wire saw 将金刚石颗粒通过电沉积方法固结于基体表面制成的一种切割线锯。 切割钢丝 cutting wire 生产电镀金刚石线锯的基体。 出刃高度 blade height 金刚石微粒或磨粒顶部到基体表面的距离。 4 产品规格 产品规格见表1 。 表1 产品规格 单位为微米 标称直径D 母线直径D 微粉粒径D50 成品外径D 38 38±1 5～10 55±2 35 35±1 5～10 52±2 全国团体标准信息平台 T/ZACA 047 —2022 2 5 一般要求 切割钢丝应符合 GB/T 341 的规定，并应符合表 2的规定。 表2 切割钢丝 项目 指标 线径 μm 38±1 35±1 抗拉强度 MPa ≥4000 ≥3500 金刚石微粉品种应符合 GB/T 6405 的规定。 氨基磺酸镍应符合 GB/T 23847 的规定，且应达到 ROHS指令要求。 6 技术要求 6.1 外观质量 6.1.1 金刚石线锯镀层不应高于金刚石微粉。 6.1.2 金刚石线锯镀层不应有起皮、剥落、烧焦和漏镀现象。 6.1.3 金刚石线锯镀层表面应平整、色泽均匀、无锈蚀、无划痕、无斑点、无镍瘤、无鼓包等现象。 金刚石分布密度 6.2.1 金刚石线锯表面金刚石微粉堆积颗粒每处应少于 10 颗，在0.5 mm 内不允许出现无金刚石微 粉的空档。 6.2.2 金刚石分布密度应符合表 3的规定。 表3 金刚石分布密度 标称直径 D μm 砂量分布 pcs/mm 上限 中心值 下限 38 280 260 240 35 260 235 210 镀层与基线结合强度 经缠绕试验后，镀层不应起层或剥落。 外径及公差 金刚石线锯外径与公差应符合表 1的规定。 机械性能 6.5.1 破断拉力 金刚石线锯破断拉力应符合表4 的规定。 表4 破断拉力 标称直径 μm 破断拉力 N 38 ≥6.5 35 ≥6 6.5.2 出刃高度 全国团体标准信息平台 T/ZACA 047 —2022 3 金刚石线锯出刃高度应符合表5 的规定。 表5 出刃高度 单位为微米 标称直径 出刃高度 38 4～6 35 3～5 6.5.3 圈径及翘距 金刚石线锯的圈径应不小于100 mm，翘距应不大于20 mm。 禁用、限用物质限量 6.6.1 限用物质限量应符合 ROHS(EU)2015/863 指令规定的限制物质含量要求。 6.6.2 禁用物质限量应符合 REACH(EC)1907/2006 法规限制或禁止物质控制要求。 7 试验方法 外观质量检查 截取长度为 1000mm试样线1 根，取其中不同的 4个点，每个点取30mm～ 40mm小样，用 3D成像电镜放大 150倍观察，检验表面质量，结果应符合本文件 6.1的规定。 金刚石分布密度检查 截取长度为 1000mm试样线1 根，取其中不同的 4个点，每个点取30mm～ 40mm小样，用 3D成像电镜放大 150倍观察，从小样上再取4个点拍摄，检验单侧砂量、堆积颗粒及空挡，结果应符合本文件 6.2的规定。 外径及公差检查 按截取长度为2000mm试样线 1根，按GB/T 33159规定的试验设备及试验步骤试验，用精度为 0.001 mm的千分尺测量直径，沿试样线每隔 100mm取1 个测量点，共取 20点，每个点相互垂直方向上分别测量直 径，每个点检测数值应符合本文件 6.3的规定。 机械性能检查 7.4.1 破断拉力 7.4.1.1 试样 截取长度为 500mm金刚石线锯作为试样，试样上应无弯折现象。 7.4.1.2 试验设备 拉力试验机应具有恒定拉伸速率，精度等级应为1 级或优于 1级。 7.4.1.3 试验步骤 a) 将拉力试验机上、下夹具的间距调整为 200 mm ； b) 将拉力试验机位移、荷载分别归零； c) 将拉力试验机拉伸速度设置为 100 mm/min ，设置试样断裂后机器自动复位； d) 将试样由上至下夹入夹具中，一端在上夹具中用砂纸垫衬，收紧上夹具；竖直放入下夹具，试 样施加预张力，确保试样拉直，用 600～1000目砂纸垫衬，收紧下夹具，如图 1所示； e) 启动拉力试验机，直至试样断裂，测试时观察试样，保证试样在试验时不出现滑移； f) 试验完成后，观察试样断裂情况，试样断裂在夹具夹持部分或断裂点距离夹具小于 10 mm，应 对该试样重新检测； g) 记录最小破断拉力值作为实测值，结果应符合 6.4.1 的