ICS 23.160 CCS T GVS J 78 团体 标准 T/GVS 010—2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求 Generic specification for vacuum roll -to-roll coating plant 2022- 09 - 23发布 2022 - 09 - 23实施 广东省真空学会 发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/GVS 010 —2022 I 目次 前言 ................................ ................................ ................. II 1 范围 ................................ ................................ ............... 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ ..... 1 3 术语和定义 ................................ ................................ ......... 1 4 组成 ................................ ................................ ............... 2 真空室 ................................ ................................ ......... 2 抽气系统 ................................ ................................ ....... 3 真空测量系统 ................................ ................................ ... 3 镀膜系统 ................................ ................................ ....... 3 控制系统 ................................ ................................ ....... 3 水、气网络 ................................ ................................ ..... 3 选配装置 ................................ ................................ ....... 4 5 技术要求 ................................ ................................ ........... 4 一般要求 ................................ ................................ ....... 4 技术指标 ................................ ................................ ....... 4 结构要求 ................................ ................................ ....... 4 加工要求 ................................ ................................ ....... 4 安全防护要求 ................................ ................................ ... 5 6 试验方法 ................................ ................................ ........... 5 一般要求 ................................ ................................ ....... 5 技术指标 ................................ ................................ ....... 5 结构要求 ................................ ................................ ....... 6 加工要求 ................................ ................................ ....... 6 安全防护要求 ................................ ................................ ... 6 7 检验规则 ................................ ................................ ........... 6 8 标志、包装、运输和贮存 ................................ ............................. 7 标志 ................................ ................................ ........... 7 包装 ................................ ................................ ........... 7 运输 ................................ ................................ ........... 7 贮存 ................................ ................................ ........... 7 全国团体标准信息平台 T/GVS 010 —2022 II 前言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专 利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由 广东腾胜科技创新有限公司 提出。 本文件由广东省真空学会归口。 本文件起草单位： 广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技 术有限公司 。 本文件主要起草人： 朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁 、徐从高。 本文件为首次发布。 全国团体标准信息平台 T/GVS 010 —2022 1 真空卷绕镀膜设备通用技术要求 1 范围 本文件规定了 真空卷绕镀膜设备通用技术要求 的术语和定义、 组成、技术要求、试验方法 、检验规 则、标志 、包装、运输和贮存 。 本文件适用于 真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（ CVD）卷 绕镀膜设备 。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 3103.2 紧固件公差 用于精密机械的螺栓，螺钉和螺母 GB 4824—2019 工业、科学和医疗设备 射频骚扰特性 限值和测量方法 GB/T 6070 真空技术 法兰尺寸 GB/T 11164—2011 真空镀膜设备通用技术条件 GB/T 13306 标牌 GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件 GB/T 13547 工作空间人体尺寸 GB/T 16895.3 低压电气装置 第5-54部分：电气设备的选择和安装 接地配置和保护导体 GB/T 17626.3 电磁兼容 试验和测量技术 射频电磁场辐射抗扰度试验 GB/T 21067 工业机械电气设备 电磁兼容 通用抗扰度要求 GB/T 21302 包装用复合膜、袋通则 GB/T 24612.1 电气设备应用场所的安全要求 第1部分：总则 GB/T 30242 磁电式速度 传感器通用技术条件 GB/T 32292 真空技术 磁流体动密封件 通用技术条件 GB/T 33051 光学功能薄膜 表面硬化薄膜 硬化层厚度测定方法 GB/T 38518 柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法 GBZ 2.2—2007 工作场所有害因素