ICS 25.220.70 CCS A29 团体 标准 T/CSEA 36—2025 真空等离子喷涂设备 技术规范 Technical specifications of vacuum plasma spray equipment （发布稿） 2025 - 3 - 17发布 2025 - 3 - 17实施 中国表面工程协会 发布 全国团体标准信息平台 T/CSEA 36—2025 I 目 次 1 范围 ................................................................................................................................................................ 1 2 规范性引用文件 ............................................................................................................................................ 1 3 术语和定义 .................................................................................................................................................... 1 4 技术要求 ........................................................................................................................................................ 1 设备组成 ................................................................................................................................................. 1 技术条件 ................................................................................................................................................. 2 5 检查与验收 .................................................................................................................................................... 3 功能性检查 ............................................................................................................................................. 3 性能检查或验收 ..................................................................................................................................... 3 6 质量保证 ........................................................................................................................................................ 5 7 检验报告 ........................................................................................................................................................ 5 附录 A（资料性） 真空等离子喷涂设备检查与验收 报告 .......................................................................... 6 全国团体标准信息平台 T/CSEA 36—2025 II 前 言 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意 本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件 由中国表面工程协会热喷涂分会提出。 本文件 由中国表面工程协会归口。 本文件 起草单位：北京金轮坤天特种机械有限公司、北京动力机械研究所、廊坊斯博瑞精密机械有 限公司 本文件 主要起草人：何箐、葛超、王亚军、王锦江、房师阁、崔亮、杨明超、王秋童、徐法令 全国团体标准信息平台 T/CSEA 36 —2025 1 真空等离子喷涂设备 技术规范 1 范围 本文件规定了真空等离子喷涂设备的技术要求、检查及验收、质量保证和检查及验收报告等。 本文件适用于真空等离子喷涂设备的检查及验收。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。 其中， 注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 3163 真空技术 术语 GB/T 18719 热喷涂 术语、分类 GB/T 20019 热喷涂 热喷涂设备的验收检查 GB/T 32218 真空技术 真空系统漏率测试方法 GB/T 32293 真空技术 真空设备的检漏方法选择 GB/T 36176 真空技术 氦质谱真空检漏方法 3 术语和定义 GB/T 3163、 GB/T 18719 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 真空等离子喷涂设备 vacuum plasma spray equipment 是容器内部低压（1kPa~90kPa ）、超低压（ 5Pa~1kPa ）、低压可控气氛（通常为填充氩气气氛）下 进行等离子喷涂工艺的设备。 注：也可称为低压等离子喷涂设备（low pressure plasma spray equipment ）。 4 技术要求 设备组成 设备由真空系统（真空泵组、真空容器、真空过滤器等）、等离子喷涂系统（等离子电源、等离子 喷枪、送粉器等）、集成控制及操作系统（系统控制柜、气体控制柜、应用软件等）、喷枪和工件夹持 单元（机械手、转台等）、辅助单元（冷水机、除尘器等）等组成。 全国团体标准信息平台 T/CSEA 36—2025 2 图1 真空等离子喷涂设备组成 1-真空系统； 2-等离子喷涂系统； 3-集成控制及操作系统； 4-喷枪和工件夹持单元； 5-辅助单元； 11- 真空泵组； 12-真空容器； 13-真空过滤器； 21-等离子电源； 22-等离子喷枪； 23-送粉器； 31-系统控制柜； 32-气体控制柜； 33-应用软件； 41-机械手； 42-转台；51- 冷水机； 52-除尘器 技术条件 4.2.1 功能要求 真空等离子喷涂设备功能应符合下列要求： a) 设备应具有 PLC集成控制功能，人机交互宜采用工业 PC，也可采用触摸屏。 b) 设备应具有工艺配方管理功能，包括存储、读取、调用、修改、删除等功能。 c) 设备应具备半自动/ 自动运行模式，半自动运行时依靠人工操作修改、确认参数及确定工步状 态切换，自动运行模式时按照调用工艺配方运行。 d) 设备应具有联锁、报警、急停等安全性功能。 e) 设备应具有真空过滤器除尘功能，应具有压差控制的反吹功能。 f) 设备在环境保护、操作人员职业健康防护措施方面满足设备安装地要求。 4.2.2 性能要求 真空等离子喷涂设备性能要求应符合表1 的规定。 表1 性能要求 序号 项目 指标要求 1 极限真空 真空等离子喷涂设备在洁净真空容器的极限真空宜低于 5Pa 2 系统漏率 真空等离子喷涂设备在洁净真空容器环境下，真空漏率不高于 1×10-2 Pa•m3/s 3 真空抽速 针对不同容积的真空等离子喷涂系统， 真空泵组抽速应和真空容器匹配， 洁净真空容器抽至 5Pa时间不应高于 15min；非洁净真空容器抽至 5Pa 时间不应高于 20min。 4 等离子电源类型及功率 等离子电源应为逆变电源或高频斩波电源，为单电源或多电源并联，电 源额定功率应为等离子喷枪最大使用功率的 2倍以上。 全国团体标准信息平台 T/CSEA 36 —2025 3 序号 项目 指标要求 5 真空容器压力控制精度 100Pa~500P