ICS13.020.01 Z04 团体标准 T/CESA1081—2020 半导体集成电路制造业晶圆 绿色工厂评价要求 Assessmentrequirementsforgreenfactoryinsemiconductor integratedcircuitmanufacturing－Wafer 2020-06-20发布 2020-06-20实施 中国电子工业标准化技术协会发布 全国团体标准信息平台 T/CESA1081-2020 I 版权保护文件 版权所有归属于该标准的发布机构，除非有其他规定，否则未经许可，此发行物及其章节不得以其 他形式或任何手段进行复制、再版或使用，包括电子版，影印件，或发布在互联网及内部网络等。使用 许可可于发布机构获取。 全国团体标准信息平台 T/CESA1081-2020 II目  次 前 言...................................................................................................................................................................III 1范围.....................................................................................................................................................................1 2规范性引用文件.................................................................................................................................................1 3术语和定义.........................................................................................................................................................2 4总则.....................................................................................................................................................................3 5评价要求.............................................................................................................................................................3 6评价方法和评价程序.........................................................................................................................................8 7评价报告.............................................................................................................................................................9 附录A（规范性附录）半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价指标......................................9 参考文献...............................................................................................................................................................18 全国团体标准信息平台 T/CESA1081-2020 III前  言 本标准按照GB/T1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国电子技术标准化研究院、全国绿色工厂推进联盟提出。 本标准由全国绿色工厂推进联盟、中国电子工业标准化技术协会归口。 本标准起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、中芯北方集成电路制 造（北京）有限公司、中国电子信息产业发展研究院、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、施耐德 电气（中国）有限公司上海分公司。 本标准主要起草人：李胡升、马传辉、洪洋、杨檬、杨宇涛、阳平、宋英华、闻洪春、赵立华、刘 果果、黄明燕、赵丽华。 全国团体标准信息平台 T/CESA1081-2020 1半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价要求 1范围 本标准规定了半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指 标体系及要求、程序等。 本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进 行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB6566建筑材料放射性核素限量 GB/T7119节水型企业评价导则 GB17167用能单位能源计量器具配备和管理通则 GB18580室内装饰装修材料人造板及其制品中甲醛释放限量 GB18581室内装饰装修材料溶剂型木器涂料中有害物质限量 GB18582室内装饰装修材料内墙涂料中有害物质限量 GB18583室内装饰装修材料胶粘剂中有害物质限量 GB18584室内装饰装修材料木家具中有害物质限量 GB18585室内装饰装修材料壁纸中有害物质限量 GB18586室内装饰装修材料聚氯乙烯卷材地板中有害物质限量 GB18587室内装饰装修材料地毯、地毯衬垫及地毯胶粘剂有害物质释放限量 GB18588混凝土外加剂中释放氨的限量 GB18597危险废物储存污染控制标准 GB18599一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准 GB18613中小型三相异步电动机能效限定值及能效等级 GB/T19001质量管理体系要求 GB19153容积式空气压缩机能效限定值及能效等级 GB19577冷水机组能效限定值及能效等级 GB19761通风机能效限定值及能效等级 GB20052三相配电变压器能效限定值及能效等级 GB/T20862-2007产品可回收利用率计算方法导则 GB/T23331能源管理体系要求 GB/T23685废电器电子产品回收利用通用技术要求 GB/T24001环境管理体系要求及使用指南 GB/T24256产品生态设计通则 GB24789用水单位水计量器具配备和管理通则 GB24790电力变压器能效限定值及能效等级 全国团体标准信息平台 T/CESA1081-2020 2GB/T26572电子电气产品中限用物质的限量要求 GB/T29115工业企业节约原材料评价导则 GB/T31274电子电气产品限用物质管理体系要求 GB/T32150工业企业温室气体排放核算和报告通则 GB/T34664电子电气生态设计产品评价通则 GB/T36132-2018绿色工厂评价通则 GB/T45001职业健康安全管理体系要求及使用指南 GB50034建筑照明设计标准 GB50472电子工业洁净厂房设计规范 GB50809硅集成电路芯片工厂设计规范 RB/T101能源管理体系电子信息企业认证要求 SJ/T11364电子电气产品有害物质限制使用标识要求 SJ/Z11388电子信息产品环保使用期限通则 SJ/T16000电子信息行业社会责任指南 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 绿色工厂greenfactory 实现了用地集约化、原料无害化、生产洁净化、废物资源化、能源低碳化的工厂。 [GB/T36132-2018，定义3.1] 3.2 半导体集成电路semiconductorintegratedcircuit 在半导体内部和上面形成元件和互联的集成电路。 [GB/T9178-1988集成电路术语，定义1.2.2] 3.3 生态（绿色）设计eco-design，green-design 按照全生命周期的理念，在产品设计开发阶段系统考虑原材料获取、生产制造、包装运输、使用维 护和回收处理等各个环节对资源环境造成的影响，力求产品在全生命周期中最大限度降低资源消耗、尽 可能少用或不用含有有害物质的原材料，减少污染物产生和排放，从而实现环境保护的活动。 [GB/T34664-2017，定义3.2] 3.4 限用物质应用例外restrictedsubstanceexception 由于技术性或经济性等因素的局限，对于电子电气产品